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尊龙人生就是博旧版LED芯片常用衬底资料选用比较

2018-09-08 07:16      点击:

  LED芯片常用衬底资料选用比较

   关于制造LED芯片来说,衬底资料的选用是首要考虑的问题。应该选用哪种适宜的衬底,需求依据设备和led器材的要求进行挑选。产业蓝皮书:中国产业竞争力发展报告》——传统优势有所弱化 新。现在市面上一般有三种资料可作为衬底:

  1. 蓝宝石(Al2O3)2. 硅 (Si)3. 碳化硅(SiC)蓝宝石衬底一般,GaN基资料和器材的外延层首要成长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的长处:首要,蓝宝石衬底的生产技术老练、器材质量较好;其次,蓝 宝石的安稳性很好,可以运用在高温成长进程中;最终,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因而,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。图1示例了运用蓝宝 石衬底做成的LED芯片。运用蓝宝石作为衬底也存在一些问题,例如晶格失配和热应力失配,这会在外延层中发生很多缺点,一起给后续的器材加工工艺形成困难。蓝宝石是一种 绝缘体,常温下的电阻率大于1011Ω·cm,在这种情况下无法制造笔直结构的器材;一般只在外延层上外表制造n型和p型电极(如图1所示)。在上外表制 作两个电极,形成了有用发光面积削减,一起添加了器材制造中的光刻和刻蚀工艺进程,成果使资料利用率下降、本钱添加。因为P型GaN掺杂困难,尊龙人生就是博旧版,当时遍及采 用在p型GaN上制备金属通明电极的办法,使电流分散,以到达均匀发光的意图。可是金属通明电极一般要吸收约30%~40%的光,一起GaN基资料的化学 功能安稳、机械强度较高,不容易对其进行刻蚀,因而在刻蚀进程中需求较好的设备,这将会添加生产本钱。蓝宝石的硬度十分高,在天然资猜中其硬度仅次于金刚石,可是在LED器材的制造进程中却需求对它进行减薄和切开(从400nm减到100nm左右)。添加完结减薄和切开工艺的设备又要添加一笔较大的出资。蓝宝石的导热功能不是很好(在100℃约为25W/(m·K))。因而在运用LED器材时,会传导出很多的热量;特别是对面积较大的大功率器 件,导热功能是一个十分重要的考虑要素。为了战胜以上困难,很多人企图将GaN光电器材直接成长在硅衬底上,然后改进导热和导电功能。